采用純度較高的海綿鋯，用高純氫氣深度氫化和梯度脫氫技術制備了超細鋯粉。在一定溫度下對海綿鋯進行高純氫氣深度氫化，生成易于粉碎成細小顆粒的低氧含量氫化鋯，氫化鋯經高能球磨后達到一定的粒度，再經梯度式溫度下脫氫后，可得到超細鋯粉。對生產超細鋯粉過程中的高純氫氣深度氫化、高能球磨和梯度脫氫過程做了概要分析。結果表明，鋯中氫含量隨溫度的升高逐漸降低，在700℃時氫化鋯出現吸熱峰迅速分解，鋯的氫化反應為400~700℃，脫氫反應溫度為600~800℃。對于相同原料制取的鋯粉，氧化鋯粒度越低，其含氧量越高。
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